产品中心 - 微透镜阵列 - 衍射光学元件 - 苏州麦田光电技术有限公司

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产品名称：大深宽比微细结构元件

型号：

时间： 2018 - 11 - 05

SU-8光刻胶是非硅材料MEMS制造以及电铸模所用的首选光刻胶。得益于SU-8光刻胶本身良好的力学性能，其甚至可直接被用作微机械器件。我公司开发的SU-8光刻胶结构深宽比可达20：1。随着大规模集成电路技术和微机械技术的发展，越来越多的器件要求高深宽比的微细结构。我公司开发的深硅刻蚀技术，能够实现深宽比优于10：1的微细结构。

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产品名称：光栅

型号：

时间： 2018 - 11 - 05

光栅是可以使入射光的振幅或相位（或两者同时）受到周期性空间调制的光学元件。只能使光受到振幅调制或相位调制的光栅，分别称为振幅光栅和相位光栅。按工作方式分，光栅又可分为透射光栅（透射光受调制）和反射光栅（反射光受调制）。光栅每单位长度内的刻痕多少，主要决定于所分光的波长范围，单位长度内的刻痕多，色散度越大。光栅的分辨本领决定于刻痕多少。我公司具备常见光栅的生产能力，并能提供最大面积为400mm×400mm，4μm单元阵列的超大口径平面光栅。

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